Bruker DektakXTL台阶仪
所属分类：
台阶仪
形貌表征
膜厚与尺寸测量
产品附件：
【产品简介】
布鲁克公司的新型 Dektak XTL ™探针式轮廓仪系统可容纳多达 350 毫米 x350 毫米的样品，将优异的重复性应用到大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL 集成气体隔震装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行，可应对复杂的生产环境。它的双摄像头设置和高水平自动化功能可提高生产量。布鲁克公司特有的具有图形识别功能的 Vision64® 软件以及自动化生产接口，可满足 IC 级用户需求，使数据采集成为一个自动化的过程，降低操作员的变化带来的影响。
【主要应用】
1、 主要用于膜厚、应力、表面粗糙度和表面形貌的测量，实现纳米尺度的表面轮廓测量；
2、 广泛应用于半导体器件、MEMS、金属镀层、油漆镀层、玻璃镀膜、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。
【主要参数】
|
垂直量程 |
1mm |
|
垂直分辨率 |
最大 0.1nm |
|
单次扫描长度 |
55mm ( 最大 300mm) |
|
最大样品高度 |
50mm |
|
样品台尺寸 |
300mmX300mm （自动） 350mmX350mm（自动） |
|
样品台旋转 |
两点定位 360 度连续旋转 |
|
台阶测试精度 |
<4Å( 1sigma on 1μm step) |
|
观察系统 |
双镜头设置 |
