Bruker DektakXT台阶仪
所属分类：
台阶仪
形貌表征
膜厚与尺寸测量
分析测试中心
产品附件：
【产品简介】
全新的 DektakXT 采用具有单拱龙门式设计，配备全彩HD 摄像机，并且利用 64 位同步数据处理模式完成精准测量和操作效率的台阶仪。过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在实践上不断实现创新，DektakXT 延续了这种开创性的风格。
【主要应用】
1、 主要用于膜厚、应力、表面粗糙度和表面形貌的测量，实现纳米尺度的表面轮廓测量；
2、 广泛应用于半导体器件、MEMS、金属镀层、油漆镀层、玻璃镀膜、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。
【主要参数】
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垂直量程 |
1mm |
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垂直分辨率 |
最大 0.1nm |
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单次扫描长度 |
55mm ( 最大 200mm) |
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最大样品高度 |
50mm |
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样品台尺寸 |
100mmX100mm （手动） 150mmX150mm（自动） |
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样品台旋转 |
360 度连续旋转 |
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台阶测试精度 |
<5Å( 1sigma on 1μm step) |
