Bruker NPFLEX白光干涉仪
所属分类：
三维光学轮廓仪
形貌表征
膜厚与尺寸测量
分析测试中心
产品附件：
【产品简介】
NPFlex 三维表面测量系统基于白光干涉原理，为精密机械加工领域大样品表面表征测量提供了适合的解决方案，开放式的龙门设计提供了更大测量空间，克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难。NPFlex 为用户提供比接触式方法所能得到的更多数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为精密机械加工领域优异的测量方案可广泛用于医疗植入，航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。
【主要应用】
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量；
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
【主要参数】
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RMS 重复性 |
0.004 nm |
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垂直分辨率 |
0.1nm |
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最大样品尺寸 |
H: 249mm D: 304mm W: 304mm |
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样品台承载 |
50kg |
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横向取样间隔 |
0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 ) |
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光学横向分辨率 |
最高 350nm |
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台阶测试精度 |
0.75% |
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台阶重复性 |
<0.1% 1σ |
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倾斜调整 |
手动 ± 45° / 自动调节 ± 6° |
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垂直扫描速度 |
最快 96um / 秒，用户可自行设定 |
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认证标准 |
CE, NRTL, T-Mark, ROHS，ANSI B46.1 |
