Bruker ContourGT-X白光干涉仪
所属分类：
三维光学轮廓仪
形貌表征
膜厚与尺寸测量
产品附件：
【产品简介】
ContourGT-X 是实验室研发和工业生产均可适用的高性能仪器。它积累了前十代产品在白光干涉技术上的创新，实现了快速地三维表面测量，从纳米级表面粗糙度测量到毫米级台阶的测量，垂直分辨率可达亚纳米级。可编程的 XYZ 控制和独特的扫描头自动控制，使得仪器测试空间极大的拓展，多种自动化功能，使操作使用简便易行。配备 Vision64 软件，具有强大的数据分析功能，其优化设计的用户界面为使用者自行定义测量和数据分析提供了极大的便利。内部激光自校准技术可以自动校准因环境或机械不稳定产生的漂移，无需标准块，减少使用成本保证测试的精准度。
【主要应用】
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量；
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
【主要参数】
|
垂直量程 |
0.1nm 至 10mm（闭环无拼接） |
|
垂直分辨率 |
0.01nm |
|
电动样品台移动范围 |
±200mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动 |
|
横向取样间隔 |
0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 ) |
|
光学横向分辨率 |
最高 350nm |
|
台阶测试精度 |
0.75% |
|
台阶重复性 |
<0.1% 1σ |
|
倾斜调整 |
自动镜头调节 ± 6° |
|
垂直扫描速度 |
最快 117um / 秒，用户可自行设定 |
|
机器校准方式 |
激光自校准（可选） |
|
聚焦功能 |
镜头自动聚焦，自动调节干涉条纹光强 |
