EVG 120涂胶喷胶匀胶系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
涂胶显影
产品附件：
产品简介：
EVG 120是一款全自动晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适用于小规模自动化生产。
主要特点及参数：
·最大可适用于8寸（200mm）晶圆
·最多可配置2个工艺模组和10个冷/热板
·专业的化学品外存柜
·采用独特技术减少材料消耗，保证高均匀性
所属分类：
测试与辅助工艺设备
涂胶显影
产品附件：
产品简介：
EVG 120是一款全自动晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适用于小规模自动化生产。
主要特点及参数：
·最大可适用于8寸（200mm）晶圆
·最多可配置2个工艺模组和10个冷/热板
·专业的化学品外存柜
·采用独特技术减少材料消耗，保证高均匀性
