EVG 620BA对准系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
键合对准
微纳加工中心
产品附件：
产品简介：
EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，拥有全自动高分辨率底部摄像头，适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。
主要特点及参数：
·最大支持6英寸（150mm）晶圆
·支持2层或3层晶圆堆叠对准
·对准精度：
底部对准精度≤±2μm 3σ
透明对准精度≤±1μm 3σ
·可选配红外对准
·可升级至自动对准
所属分类：
测试与辅助工艺设备
键合对准
微纳加工中心
产品附件：
产品简介：
EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，拥有全自动高分辨率底部摄像头，适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。
主要特点及参数：
·最大支持6英寸（150mm）晶圆
·支持2层或3层晶圆堆叠对准
·对准精度：
底部对准精度≤±2μm 3σ
透明对准精度≤±1μm 3σ
·可选配红外对准
·可升级至自动对准
