半导体设备

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  • 单面/双面光刻

  • 纳米压印光刻

  • 步进式光刻机

• 晶圆键合工艺

  • 键合对准

  • 清洗与等离子活化

  • 永久键合

  • 临时键合与解键合

  • 熔融与混合键合

  • 键合测试

• 刻蚀工艺

  • ICP刻蚀

  • RIE刻蚀

  • 深硅刻蚀

  • 干法去胶

• 成膜工艺

  • 高温氧化

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  • 其他

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封测设备

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• 测试

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SMT设备

高校科研设备

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