关于垦芯

上海垦芯电子科技有限公司是一家专注于高端半导体及微纳制造领域的技术服务型企业，聚焦化合物半导体、MEMS传感器、先进封装、微纳光学四大核心赛道，为全球泛半导体客户提供从整线工艺解决方案、全流程代工服务到配套耗材备件的一体化产业支持，助力客户实现从研发试制到规模化生产的高效落地。
工艺赋能创新 服务驱动价值 全球资源整合

核心工艺设备 · 解决方案

CRESTEC 电子束曝光机
超高精度电子束直写
NIKON 光刻机
步进式投影光刻
EVG 光刻机
双面/对准光刻
全芯微 匀胶显影机
高均匀性涂胶
去胶剥离机
高效湿法去胶
清洗机
RCA/兆声清洗
SPTS 深硅刻蚀机
高深宽比DRIE
SENTECH 刻蚀机
化合物半导体刻蚀
ICPECVD
高品质介质薄膜
维开 磁控溅射机
金属/介质镀膜
EVG 晶圆键合机
阳极/共晶键合
Bruker 原子力显微镜
纳米级形貌表征
台阶仪
薄膜厚度/应力
X射线衍射仪
晶体结构分析
Camtek AOI
自动光学检测
SONOSCAN 超声波扫描
无损内部缺陷
自研四探针
薄膜电阻测量
自动显微镜
高倍率观察

所有设备配图将由我方提供，图示为占位符，实际产品更具科技细节。

专业代工服务

电子束曝光代工
最小线宽 <10nm，适用于光栅、光子晶体、纳米压印模板。高精度拼接，支持各类衬底。
步进式光刻代工
NIKON 步进式光刻，用于MEMS、先进封装、微透镜阵列。分辨率可达0.5μm。
晶圆键合代工
阳极键合、共晶键合、临时键合，支持4/6/8英寸，广泛应用于SOI、3D集成。
普通工艺代工
薄膜沉积、干/湿法刻蚀、清洗、检测等全流程工艺，提供定制化小批量产。

耗材 & 备件

喷淋盘
CVD/PVD 工艺备件
石英件
高纯石英舟/管/环
陶瓷件
氧化铝/氮化铝精密陶瓷
四探针
自研高精度探针头
I线光刻胶
高分辨率正/负胶
键合胶
临时键合/热滑移材料

全球联系 · 即刻启程

刘经理 · 技术商务

186 2138 5176

rockeyliu@kenxinchip.com

www.kenxinchip.com